采購人(蓋章)

太原理工大學

采購項目所屬項目名稱

多功能冷凍原位分析系統

采購項目名稱及金額

多功能冷凍原位分析系統，500萬元

項目組織單位

太原理工大學

項目使用單位

太原理工大學材料科學與工程學院

購置理由

該設備主要用于對材料樣品表面形貌的超微觀結構和成分分析，尤其是對含水樣品直接觀察，同時還可以對高分子薄膜類樣品或者納米化纖材料等在原位拉伸情況下進行力和微觀形變的分析，主要應用于高分子、化學、物理、生物等各個材料研究領域，是材料領域研究樣品表面超微結構不可或缺的表征設備。

目前我院沒有類似的多功能冷凍原位分析系統，這樣對我院后續的科研工作具有很大的影響。我院主要以高分子材料研究為主，高分子樣品對電子束的能量、熱效應比較敏感，使用高能電子束觀察時容易對樣品表面造成一定的損傷，且部分高分子樣品具有一定的含水率，無法直接使用高能電子束進行觀察，針對我院樣品的特殊性和復雜性，因此急需購置一臺可以直接觀察含水樣品并且可以原位分析的多功能冷凍原位分析系統設備。

論證專家基本情況

姓名

技術職稱

現從事專業

所在單位

余雯雯

教授

高分子

太原理工大學

馮麗恒

教授

有機化學

山西大學

弓曉娟

教授

環境科學

山西大學

弓亞瓊

教授

制藥工程

中北大學

姚勇

教授

化學

南通大學

專家組論證意見

該系統可對于高分子、化學、物理、金屬、機械、生物等各種樣品的分析提供較大的數據支持工作，同時可以有效的支持高分子化學材料及相關學科發展的必要試驗設備。

該系統至少需要較高的成像精度、穩定的分析束流和全面的系統互連兼容性，在這幾方面來講，國內設備尚處于初級開發階段，并不具備保證以上功能的長期有效運行，無法為目前的科研工作提供強有力的支持。

結合實際使用目的和設備性能分析，支持采購進口設備。

采購需求

技術要求：

1.貨物名稱：多功能冷凍原位分析系統數量(單位)：1套

2.采購標的需實現的功能或者目標，以及為落實政府采購政策需滿足的要求

主要用于對材料樣品表面形貌進行多功能、多維度超微觀結構觀察和成分分析，尤其可以對高分子薄膜類樣品或者納米化纖材料等，在原位力學拉伸情況下進行微觀形變的分析。

3.采購標的需滿足的質量、安全、技術規格、物理特性等要求(技術指標要求)：

3.1電子光學系統

3.1.1電子槍：高穩定性肖特基熱場發射電子槍，自動聚焦，有傾斜校正功能。

3.1.2放大倍數可調范圍≥10~2,000,000倍,根據加速電壓和工作距離的改變，放大倍數可自動校準;

*3.1.3電子槍基本參數：

二次電子分辨率(15kV)：≤0.7nm;

基于無樣品臺減速模式下二次電子分辨率(1kV)：≤1.2nm;

基于無樣品臺減速模式下背散射電子分辨率(1kV)：≤1.2nm;

標準模式下加速電壓和著陸電壓可調范圍均≥20V~30kV，加速電壓以10V為步進連續可調;

3.1.4電子束流穩定性≤0.2%/h;

3.1.5能譜儀最佳分析工作距離條件下，電子束位移量≥180µm;

3.2樣品室及樣品臺

*3.2.1樣品倉與馬達臺：樣品倉內部左右寬度≥355mm，前后進深≥355mm，高度≥270mm;配置五軸優中心馬達驅動樣品臺，水平方向移動范圍：X軸≥125mm，Y軸≥125mm;

3.2.2樣品倉可擴展接口數量≥16個;

*3.2.3樣品可360°旋轉條件下，可裝載樣品直徑尺寸≥240mm;樣品高度≥45mm;

3.2.4馬達臺Z軸方向移動范圍≥50mm，可雙向傾斜，傾斜范圍≥70°，可360°連續旋轉;

3.2.5工作距離可調范圍≥0.1mm~50mm;

*3.2.6能譜儀最佳分析工作距離≤9mm;

*3.2.7最大工作距離條件下，電子束成像視野范圍≥60mm。

*3.2.8物鏡光闌：7孔可變光闌，光闌具備自動坐標記憶功能，可通過軟件自動控制光闌孔徑更換。

3.3探測器

*3.3.1探測器不低于以下配置：

樣品室內二次電子探測器;

鏡筒內高分辨二次電子探測器;

鏡筒內帶能量選擇功能的背散射電子探測器;

束流監測器;

樣品室內彩色CCD探測器

3.3.2配置樣品電流監測器或法拉第杯;

3.3.3電子束在同一位置掃描時，能夠同時開啟二次電子和背散射電子探測器同時成像，同時獲得同一位置獨立的二次電子圖像和背散射電子圖像，以及二者的混合像;

3.4全無油真空系統

3.4.1配置無油磁懸浮渦輪分子泵和離子泵;

3.4.2配置前級無油機械泵;

3.4.3樣品室真空度優于2×10-4Pa,電子槍真空度可達10-7Pa數量級;

3.4.4自動抽真空：可完全自動控制氣動真空閥;

3.5數字圖像記錄系統

*3.5.1圖像掃描：無需拼圖單幅圖像存儲分辨率≥24k×24k像素;

3.5.2圖像記錄格式：TIFF,BMP或JPEG;

3.6控制和數據處理系統

3.6.1可自動調節功能：搭配全新自動光路調節功能，可以實現快速自動聚焦、自動電子束對中功能，自動聚焦速度小于2S;同時還具有電子槍對中、真空控制、亮度與襯度、調焦和象散、動態聚焦、傾斜補償等功能;

3.6.2具備幀平均掃描模式，并具備幀平均掃描模式漂移校正功能，方便處理不導電樣品;

3.7電制冷高效能譜儀

3.7.1與掃描電鏡配套使用，用于材料的微區成分分析;

3.7.2探測器：分析型SDD硅漂移電制冷探測器，不小于30mm2有效面積;

3.7.3能量分辨率：MnKa實測優于128eV;

3.7.4元素分析范圍：Be～Cf。

*3.8含水樣品冷凍處理系統：

冷阱溫度：≤-75℃

冷阱體積：≥9L

真空解除功能：真空自動放氣閥(可過濾≥0.2um的灰塵)

3.9原位拉伸系統

3.9.1載荷：≥5kN;力分辨率：≤1N

3.9.2典型試樣尺寸：長度50至60mm，寬度最大10mm，厚度最厚5mm

3.10原位加熱系統

3.10.1溫度范圍：室溫~500℃

3.11技術配置

3.11.1場發射掃描電鏡主機*1

主機包含：

電子光學系統*1

樣品室及樣品臺*1

3.11.2探測器：

樣品室內二次電子探測器;

鏡筒內高分辨二次電子探測器;

鏡筒內帶能量選擇功能的背散射電子探測器;

束流監測器;

樣品室內彩色CCD探測器

3.11.3全無油真空系統*1

3.11.4數字圖像記錄系統*1

3.11.5控制和數據處理系統*1

3.11.6電制冷高效能譜儀*1

3.11.7含水樣品冷凍處理系統*1

3.11.8原位拉伸系統*1

3.11.9原位加熱系統*1

4.采購標的其他要求

4.1樣品要求

無

4.2演示要求

無

4.3現場勘查要求

勘察現場：是()否(√)

其他事項